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10月22日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF基金（589020）跌0.35%，成交额3125.61万元。当日份额减少了200万份，最新份额为4.24亿份，近20个交易日份额增加1.58亿份。当日资金净流出458.98万元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为4.76亿元。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF基金跟踪标的为上证科创板半导体材料设备主题指数，成立（2025-08-27）以来超额回报为-1.64%，近一个月超额回报为-0.11%，管理人为鹏华基金公司，基金经理为林嵩。